サクラクレパスがSEMICONに出展…プラズマ強度を評価 | 東京IT新聞

サクラクレパスがSEMICONに出展…プラズマ強度を評価

ソリューション ものづくり

画材メーカーのサクラクレパスは、東京ビッグサイトで開催されている半導体製造装置・材料の総合展示会 「SEMICON Japan 2015」にブースを構えている。訴求している製品は、プラズマの強度を評価するツール「PLAZMARK(プラズマーク)」。

半導体をはじめとしたエレクトロニクス製造分野でプラズマは、表面処理や細部加工に広く利用されている。プラズマとは、気体を構成する分子が電離し、陽イオンと電子に別れて運動している状態だ。このプラズマの強度を、装置内に置くだけで評価できるツールがサクラクレパス「PLAZMARK」だ。

サクラクレパスは描画材料メーカーとして技術を開発してきた。そういった技術のひとつ「色材応用技術」を活かし、描画材料以外へも事業を展開している。すでに40年ほど前から、蒸気や各種ガスを用いた滅菌処理の条件によって変色し、医療器具の滅菌状態を「見える化」する 「滅菌用ケミカルインジケータ」を開発している。

「PLAZMARK」は、照射されたプラズマの強度に応じて変色することにより、プラズマ処理強度を評価する。プラズマ処理後すぐに色で処理結果を判断できるので、作業時間も短縮できる。「色」のエキスパートならではのツールだ。

サクラクレパスによると、一般的にプラズマ分布状況の評価には、プラズマの発光を分光により解析する「光学測定」や、プラズマ中にプローブ電極を挿入し電気的に評価する「プローブ法」が用いられるが、それぞれ課題があったという。

光学測定では、装置の外側から確認できるビューポートが必要。またプラズマの分布を確認するには空間分解能が不足する場合がある。プローブ法では、プラズマを評価するポイント毎にプローブ電極を当てる必要があるので、工数や時間がかかる。また、反応性ガスを使用する場合、プローブ電極が汚染され評価することが難しくなる。

さらに、従来の「接触角測定」との比較では、測定時間を約1/10に短縮したという。時間がかかる「膜質評価」に対しては、プラズマの不均一要因を瞬時に判断できるのがメリットだ。変色は色差計で数値化できるので、他の測定結果との相関を見ることも簡単だ。

SEMICONのブースでは、新商品を中心に「PLAZMARK」18アイテムを展示した。SEMICONは18日まで、東京臨海都心の東京ビッグサイトで開催される。
《東京IT新聞》

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